Thiết bị phòng sạch trên thực tế có nhiều loại, hình dạng khác nhau, nhưng đều có 3 loại thiết bị cơ bản là:
Lọc sơ cấp(lọc thô), lọc thứ cấp, lọc HEPA(lọc tinh)
1. Lọc sơ cấp (lọc thô):là loại lọc thô nhất trong hệ thống lọc khí phòng sạch, cỡ hạt bụi thông thường lọc được là >=20 micron.
2. Lọc thứ cấp: cấp độ lọc đạt từ 50% -95% với cỡ hạt bụi >= 0.5 micron.
3. Lọc HEPA: cỡ hạt bụi thông thường 0,3 micron, hiệu xuất lọc được là 99%.
Kích thước của thiết bị lọc khí phòng sạch:
- Tất cả các hãng
thiet bi phong sach trên thế giới đều có kích thước lọc tiêu chuẩn áp dụng cho toàn nghành lọc khí
- Các kích thước phổ biến hiện nay : 12 x 24" (289x 592mm) và 24 x 24"(592x592mm) .
- các thước khác của lọc vẫn thuộc tiêu chuẩn nhưng không thông dụng : 12x12", 16x24", 18x24", 20x24".